在半导体、光伏、化工、精密实验等工况中，气体流量的稳定性、精准度直接决定产品良率与实验数据可靠性。多数传统流量设备易受温度、压力波动干扰，出现测控失准、稳定性差、适配性弱等问题。

针对行业精密控气需求，TMFC热式气体质量流量控制器重磅适配上线！依托先进毛细管传热温差量热法原理，无需温压补偿，可实现宽量程、高精度、自动化气体流量测控，完美适配工业量产与科研实验全场景。

产品核心概述

TMFC（热式气体质量流量控制器）是一款支持手动设定、电脑自动控制的高精度气体稳流装置，可在超宽量程范围内快速、精准调控气体流量。

区别于传统流量计，设备核心优势突出：不受系统压力波动、环境温度轻微变化影响，无需额外温度、压力补偿，全程保持稳定精准的测控状态，彻底解决常规工况下温压干扰导致的流量偏差问题。

四大核心产品优势

1、抗干扰强，测控零失准工业与实验工况中，管道压力波动、介质与环境温度变化属于常态，极易导致普通流量设备数据偏移。而TMFC可完全忽略常规温压波动影响，流量测量与控制全程稳定、精准，杜绝数据失真，适配复杂工况长期运行。

2、全自动化控制，适配工控系统设备可输出标准电信号，支持流量数字显示、累计流量自动计量、数据自动记录、电脑远程管理等全自动化操作，实现无人值守精准控流。

控制方式采用数字量+模拟量双模式，兼容通用工业信号：0~5V、4~20mA、RS485，可无缝对接Read out Box、PLC、工控电脑，适配各类自动化生产线。

3、宽量程精准定量控流支持满量程2%~100%精准控制，量程比高达50:1，覆盖微量到大中流量区间。可精准完成单路气体定量输送、多路气体比例配比，完美适配工艺控气、特种气体配比、微量气体调控等高精度场景。

4、硬核品质，适配高端工况搭载三重高精度指标、高压耐受、高纯低漏设计，兼顾精度、稳定性与耐用性，全面满足精密制造与科研严苛需求。

核心性能参数

设备默认以氮气（N₂）为标定介质，校准环境：20℃、1Atm标准工况，参数精准可靠。

广泛应用场景

凭借高精度、高稳定性、强适配性，TMFC可广泛应用于科研实验与工业量产多领域，核心场景覆盖：

• 高端制造：半导体镀膜、晶圆工艺、太阳能光伏、锂电制程、真空镀膜；

• 精密工艺：CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射等电子工艺设备；

• 科研实验：实验室催化实验、微反应装置、气相色谱仪、精密配气混气系统；

• 通用工业：石化、生化、特种材料、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保真空等领域微量气体精准控制。

TMFC热式气体质量流量控制器集高精度、高响应、高稳定、强兼容、低泄漏于一体，突破传统流量设备温压干扰、量程受限、精度不足的痛点。50:1超宽量程、30bar高压耐受、三重精密精度指标，搭配通用工控信号与多规格接口，兼顾实验室小流量实验与工业大流量量产需求，是气体流量精准控制的优选设备！

适配多场景精密控气，稳定靠谱、精准可控，为工艺提质、实验增效保驾护航！